Methods of aligning a diffractive optical system and diffractive optical element

WO2018153609 Art A1 30. August 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018153609
Aktenzeichen: EP18702457
Anmeldetag: 25. Januar 2018
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01B11/00G02B5/18G11B7/1353

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Akustik, Musik & Datenspeicherung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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