Method of measuring variation, inspection system, computer program, and computer system

WO2018153671 Art A1 30. August 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018153671
Aktenzeichen: EP18705571
Anmeldetag: 7. Februar 2018
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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