Load lock system for charged particle beam imaging

WO2018153856 Art A1 30. August 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018153856
Aktenzeichen: EP18710336
Anmeldetag: 20. Februar 2018
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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