Imaging device, imaging system, and imaging method
WO2018154625
Art A1
30. August 2018
Anmelder: National Institute Of Advanced Industrial Science, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018154625
- Aktenzeichen
- EP17898213
- Anmeldetag
- 21. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 30. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/27G01J1/38G01J1/42G01N21/01G01N21/359
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- National Institute Of Advanced Industrial Science
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.
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🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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