Imaging device, imaging system, and imaging method

WO2018154625 Art A1 30. August 2018

Anmelder: National Institute Of Advanced Industrial Science, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018154625
Aktenzeichen: EP17898213
Anmeldetag: 21. Februar 2017
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/27G01J1/38G01J1/42G01N21/01G01N21/359

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National Institute Of Advanced Industrial Science
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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