Terahertz measurement device, inspection device, terahertz measurement method, and inspection method
WO2018154690
Art A1
30. August 2018
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018154690
- Aktenzeichen
- EP17897842
- Anmeldetag
- 23. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 30. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/3586
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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