Composite sintered body, electrostatic chuck member, and electrostatic chuck device

WO2018155374 Art A1 30. August 2018

Anmelder: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018155374
Aktenzeichen: EP18757057
Anmeldetag: 19. Februar 2018
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/117H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

603 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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