Mask and film-forming device
WO2018155452
Art A1
30. August 2018
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018155452
- Aktenzeichen
- EP18757166
- Anmeldetag
- 20. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 30. August 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B05B12/16B05B7/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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