Reconfigurable Gray Scale Photomasks

WO2018156080 Art A1 30. August 2018

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018156080
Aktenzeichen: EP18757485
Anmeldetag: 22. Februar 2018
Veröffentlichung: 30. August 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/68G03F7/004H01L21/033H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von