Fluid synthesis system

WO2018156678 Art A1 30. August 2018

Anmelder: Nikon Corporation, Nagata, Takashi, Teng, Ting-chien, Magome, Nobutaka, Yuan, Bausan 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018156678
Aktenzeichen
EP18757873
Anmeldetag
9. März 2018
Veröffentlichung
30. August 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nikon Corporation
Nagata, Takashi
Teng, Ting-chien
Magome, Nobutaka
Yuan, Bausan
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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