Control device, substrate installed in said control device, and vacuum pump to which said control device is applied

WO2018159213 Art A1 7. September 2018

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018159213
Aktenzeichen: EP18760320
Anmeldetag: 2. Februar 2018
Veröffentlichung: 7. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: F04D19/04F16C32/04H02P25/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von