Spiegel mit einer Piezoelektrisch Aktiven Schicht

WO2018162231 Art A1 13. September 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018162231
Aktenzeichen: EP18710341
Anmeldetag: 21. Februar 2018
Veröffentlichung: 13. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08C23C14/34G02B26/08G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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