Plasma cone for inductively coupled plasma mass spectrometer, inductively coupled plasma mass spectrometer, and method for manufacturing plasma cone for inductively coupled plasma mass spectrometer
WO2018163576
Art A1
13. September 2018
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018163576
- Aktenzeichen
- EP17899428
- Anmeldetag
- 27. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 13. September 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J49/06G01N27/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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