Surface treatment composition, production method therefor, surface treatment method, and production method for semiconductor substrate

WO2018163617 Art A1 13. September 2018

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018163617
Aktenzeichen: EP18763893
Anmeldetag: 19. Januar 2018
Veröffentlichung: 13. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/22C11D1/14C11D1/28C11D1/29C11D1/34C11D3/37H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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