Method for measuring carbon concentration in monocrystalline silicon

WO2018163726 Art A1 13. September 2018

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018163726
Aktenzeichen
EP18764586
Anmeldetag
14. Februar 2018
Veröffentlichung
13. September 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/06G01N21/62
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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