Method for measuring carbon concentration in monocrystalline silicon
WO2018163726
Art A1
13. September 2018
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018163726
- Aktenzeichen
- EP18764586
- Anmeldetag
- 14. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 13. September 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C30B29/06G01N21/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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