Surface treatment composition, production method therefor, surface treatment method using surface treatment composition, and production method for semiconductor substrate

WO2018163781 Art A1 13. September 2018

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018163781
Aktenzeichen: EP18763902
Anmeldetag: 19. Februar 2018
Veröffentlichung: 13. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C11D3/37C11D7/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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