Epitaxial growth device and preheat ring, and epitaxial wafer manufacturing method using same

WO2018163975 Art A1 13. September 2018

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018163975
Aktenzeichen: EP18763280
Anmeldetag: 1. März 2018
Veröffentlichung: 13. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/24C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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