Apparatus for routing a carrier in a processing system, a system for processing a substrate on the carrier, and method of routing a carrier in a vacuum chamber

WO2018166635 Art A1 20. September 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018166635
Aktenzeichen: EP17718863
Anmeldetag: 12. April 2017
Veröffentlichung: 20. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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