Automated substrate holder loading device

WO2018166757 Art A1 20. September 2018

Anmelder: MKS IP Association 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018166757
Aktenzeichen: EP18706488
Anmeldetag: 19. Februar 2018
Veröffentlichung: 20. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: MKS IP Association
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 MKS IP Association

Der Anmelder MKS IP Association ist eine in Deutschland ansässige Patentverwertungsgesellschaft. Das Portfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Elektronik- und Halbleitertechnik, etwa im Bereich industrieller Reinigungs- und Beschichtungsprozesse. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2020.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von