Active light sensitive or radiation sensitive resin composition, resist film, pattern forming method and method for producing electronic device

WO2018168258 Art A1 20. September 2018

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018168258
Aktenzeichen
EP18767893
Anmeldetag
6. Februar 2018
Veröffentlichung
20. September 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/039C08F212/08G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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