Active light sensitive or radiation sensitive resin composition, resist film, pattern forming method and method for producing electronic device
WO2018168258
Art A1
20. September 2018
Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018168258
- Aktenzeichen
- EP18767893
- Anmeldetag
- 6. Februar 2018
- Veröffentlichung
- 20. September 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/039C08F212/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujifilm Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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