Diagnostic method for inspection device and inspection system

WO2018168263 Art A1 20. September 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018168263
Aktenzeichen: EP18768613
Anmeldetag: 7. Februar 2018
Veröffentlichung: 20. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01R31/28G01R31/04G01R31/26H01L21/66H01R43/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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