Etching solution, etching method and method for manufacturing electronic component

WO2018168874 Art A1 20. September 2018

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018168874
Aktenzeichen
EP18766873
Anmeldetag
13. März 2018
Veröffentlichung
20. September 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Kabushiki Kaisha Toshiba
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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