Method of determining pellicle degradation compensation corrections, and associated lithographic apparatus and computer program

WO2018171988 Art A1 27. September 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018171988
Aktenzeichen: EP18704987
Anmeldetag: 16. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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