Vacuum pump, and blade component and rotor for use in vacuum pump

WO2018173321 Art A1 27. September 2018

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018173321
Aktenzeichen
EP17901788
Anmeldetag
6. September 2017
Veröffentlichung
27. September 2018
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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