Drawing device and drawing method

WO2018173371 Art A1 27. September 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018173371
Aktenzeichen: EP17902048
Anmeldetag: 30. November 2017
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H05K3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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