Cleaning device and substrate processing device

WO2018173562 Art A1 27. September 2018

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018173562
Aktenzeichen: EP18770826
Anmeldetag: 15. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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