Metrology system for an extreme ultraviolet light source

WO2018175023 Art A1 27. September 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018175023
Aktenzeichen: EP18771325
Anmeldetag: 15. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/55G01N21/21H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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