Scanning ferromagnetic resonance (fmr) for wafer-level characterization of magnetic films and multilayers

WO2018175080 Art A1 27. September 2018

Anmelder: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd 🇹🇼

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018175080
Aktenzeichen: EP18712315
Anmeldetag: 1. März 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N24/08G01R33/30G01R31/3185G01R31/315H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd
Land: 🇹🇼 Taiwan

🇹🇼 Taiwan Semiconductor Manufacturing

Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC) ist der weltweit größte reine Halbleiter-Auftragsfertiger mit Sitz in Hsinchu, Taiwan. Der weit überwiegende Teil des Patentportfolios betrifft Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Datenspeicherung und Nachrichtentechnik. Anmeldungen laufen durchgehend von 2000 bis 2022.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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