Apparatus and techniques for decelerated ion beam with no energy contamination

WO2018175127 Art A2 27. September 2018

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018175127
Aktenzeichen: EP18770726
Anmeldetag: 12. März 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/317H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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