Pulsed Light Beam Spectral Feature Control

WO2018175454 Art A1 27. September 2018

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018175454
Aktenzeichen: EP18772470
Anmeldetag: 20. März 2018
Veröffentlichung: 27. September 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/23H01S3/03H01S3/00G02B26/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von