Fluid heater, fluid control device, and production method for fluid heater

WO2018180380 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018180380
Aktenzeichen: EP18777142
Anmeldetag: 9. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05B3/40F16L53/35F24H1/16F24H3/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von