Fluid heater, fluid control device, and production method for fluid heater

WO2018180380 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018180380
Aktenzeichen: EP18777142
Anmeldetag: 9. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H05B3/40F16L53/35F24H1/16F24H3/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.254 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

Vertreten von