Mass flow sensor, mass flow meter provided with mass flow sensor, and mass flow controller provided with mass flow sensor

WO2018180387 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018180387
Aktenzeichen: EP18775947
Anmeldetag: 9. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01F1/684G01F1/00G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von