Object replacement device, object processing device, production method for flat panel display, device production method, object replacement method, and object processing method

WO2018180969 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018180969
Aktenzeichen: EP18777415
Anmeldetag: 23. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B65G49/06H01L21/677H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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