Mobile unit apparatus, exposure apparatus, method for manufacturing flat panel display, method for manufacturing device, and method for driving mobile unit

WO2018181912 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018181912
Aktenzeichen: EP18776284
Anmeldetag: 30. März 2018
Veröffentlichung: 4. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G05D3/12G03F7/20G05D3/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von