Adhesive-less carriers for chemical mechanical polishing

WO2018182945 Art A1 4. Oktober 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018182945
Aktenzeichen
EP18774371
Anmeldetag
8. März 2018
Veröffentlichung
4. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/30B24B37/04H01L21/304H01L21/306H01L21/67H01L21/673H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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