Radiation receiving system

WO2018184802 Art A1 11. Oktober 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018184802
Aktenzeichen: EP18712139
Anmeldetag: 14. März 2018
Veröffentlichung: 11. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J3/02G01J3/18G01J3/28G01J3/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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