Film forming device and film forming method

WO2018186038 Art A1 11. Oktober 2018

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018186038
Aktenzeichen: EP18781208
Anmeldetag: 20. Februar 2018
Veröffentlichung: 11. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C23C14/08H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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