Workpiece cutting method

WO2018186087 Art A1 11. Oktober 2018

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018186087
Aktenzeichen
EP18780673
Anmeldetag
6. März 2018
Veröffentlichung
11. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
B24B53/00B24B27/06H01L21/304B28D5/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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