Contour based defect detection
WO2018187170
Art A1
11. Oktober 2018
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2018187170
- Aktenzeichen
- EP18781483
- Anmeldetag
- 30. März 2018
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2018
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G06T7/00G06K9/46G06T7/13
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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