Metal precursors with modified diazabutadiene ligands for cvd and ald applications and methods of use

WO2018187781 Art A2 11. Oktober 2018

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018187781
Aktenzeichen: EP18781823
Anmeldetag: 6. April 2018
Veröffentlichung: 11. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C07F15/06C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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