Exposure device

WO2018189816 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018189816
Aktenzeichen: EP17905272
Anmeldetag: 11. April 2017
Veröffentlichung: 18. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Advantest Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

610 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

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