Charged particle beam device and cell evaluation method

WO2018189877 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018189877
Aktenzeichen
EP17905617
Anmeldetag
14. April 2017
Veröffentlichung
18. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C12M1/34C12Q1/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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