Liquid crystal display device, organic el display device, semiconductor element, wiring film, wiring substrate, and target

WO2018189965 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018189965
Aktenzeichen
EP17905395
Anmeldetag
27. Dezember 2017
Veröffentlichung
18. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
G09F9/30C23C14/34G02F1/1368H01B1/02H01B5/14H01L21/306H01L21/3065H01L21/3205H01L21/768H01L23/532H01L27/32H01L29/786H01L51/50H05B33/02H05B33/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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