Semiconductor Substrate Cleaning Composition

WO2018190278 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018190278
Aktenzeichen
EP18783923
Anmeldetag
6. April 2018
Veröffentlichung
18. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D7/22C11D7/26C11D7/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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