Post chemical mechanical polishing formulations and method of use

WO2018191424 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018191424
Aktenzeichen: EP18725029
Anmeldetag: 11. April 2018
Veröffentlichung: 18. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C11D1/38C11D1/42H01L21/02C11D11/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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