Filter assembly for providing adjustable spectral capabilities in a broadband inspection system

WO2018191444 Art A1 18. Oktober 2018

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018191444
Aktenzeichen: EP18784907
Anmeldetag: 12. April 2018
Veröffentlichung: 18. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/25G02B5/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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