Method for analyzing silicon wafer metal contamination, and silicon wafer manufacturing method

WO2018193714 Art A1 25. Oktober 2018

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018193714
Aktenzeichen: EP18788185
Anmeldetag: 23. Februar 2018
Veröffentlichung: 25. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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