Method for producing variable resistance element, and variable resistance element

WO2018193759 Art A1 25. Oktober 2018

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018193759
Aktenzeichen: EP18787431
Anmeldetag: 14. März 2018
Veröffentlichung: 25. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8239C23C14/06C23C14/08C23C14/34H01L27/105H01L45/00H01L49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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