Wafer surface processing method and composition for use with said method

WO2018193841 Art A1 25. Oktober 2018

Anmelder: Central Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018193841
Aktenzeichen
EP18788533
Anmeldetag
4. April 2018
Veröffentlichung
25. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C09K3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Central Glass Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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