Container, method for producing container, and method for evaluating amorphous carbon film

WO2018193991 Art A1 25. Oktober 2018

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2018193991
Aktenzeichen
EP18788103
Anmeldetag
13. April 2018
Veröffentlichung
25. Oktober 2018
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/06C01B32/05C23C14/24C23C16/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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