Film forming apparatus and film forming method

WO2018193993 Art A1 25. Oktober 2018

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2018193993
Aktenzeichen: EP18788205
Anmeldetag: 13. April 2018
Veröffentlichung: 25. Oktober 2018
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/58C23C14/14H01M4/1395

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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